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Kompetenzen ENAS - Übersicht

Fraunhofer Allianz Nanotechnologie
 

  Kernkompetenzen des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS
     
  Nanotechnologien für Sensoren und Aktoren

mit den Themen:

  • Nanostrukturen und Nanoeffekte für das Wafer Level Packaging
  • CNT-basierte Sensoren
  • Sensoren basiert auf Nanokompositen
  • Nano Imprinting & Mikrostrukturabformung
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  Technologien und Simulation für Mikro- und
  Nanoelektronik

mit den Themen:

  • Metallisierung, Low-k und Ultralow-k Dielektrika
  • Airgaps für geringe parasitäre Kapazitäten in nano-Interconnect-Systemen
  • Prozess- und Equipment Simulation

 

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