Fraunhofer Allianz Nanotechnologie - Kompetenzen der beteiligten Institute - ENAS

Kompetenzen ENAS - Übersicht

Fraunhofer Allianz Nanotechnologie

Kernkompetenzen des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS

Nanotechnologien für Sensoren und Aktoren mit den Themen: Nanostrukturen und Nanoeffekte für das Wafer Level Packaging CNT-basierte Sensoren Sensoren basiert auf Nanokompositen Nano Imprinting & Mikrostrukturabformung

Technologien und Simulation für Mikro- und Nanoelektronik mit den Themen: Metallisierung, Low-k und Ultralow-k Dielektrika Airgaps für geringe parasitäre Kapazitäten in nano-Interconnect-Systemen Prozess- und Equipment Simulation